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高壓清洗機在玻璃基板清洗中的應用
時(shí)間:2014-11-26 來源: 北京TXVLOG糖心短视频网站潔清潔(jié)設備有限(xiàn)公(gōng)司(sī)
在當今的(de)LCD顯(xiǎn)示(shì)器生產過程中,清洗工藝(yì)的應用(yòng)是非(fēi)常重要的,例如塗膠前對ITO玻璃(lí)的清洗(xǐ)、顯影後(hòu)對玻璃基板的(de)清洗以及磨擦工藝後對玻璃基板的清洗等。液(yè)晶顯示器的一整套製備工(gōng)藝(yì)中,清洗工藝就占到了總工作(zuò)量的30%~40%。隨著液晶(jīng)顯示技(jì)術的不斷進步(bù),清(qīng)洗工藝的地位也越來越(yuè)重要。以下是液晶顯示器的生產流程簡(jiǎn)圖,我們可以從中(zhōng)看到清洗工藝在整個工藝路線中的重(chóng)要性。

ITO薄膜層、TFT陣列等製備工藝過程以(yǐ)及玻璃基(jī)板的包裝、搬運、運輸和存儲過程是玻璃基板上的主要(yào)汙(wū)染程序,其主(zhǔ)要汙染物有塵埃粒子、纖維紙屑、礦物油或油脂等油,以及三氧化二鋁、二氧化矽等(děng)無機微(wēi)粒和製備(bèi)過程(chéng)中遺留的殘留物、水(shuǐ)跡、手指印等。在整個LCD的清洗過程(chéng)中,業內針對上述汙染物采用過不同的(de)清洗方法,一(yī)方麵是要(yào)去除玻璃基板上(shàng)沾染的汙染(rǎn)物,避免其(qí)對液晶顯示器的性能造成不(bú)良的影(yǐng)響,而另一方(fāng)麵也可以起到改善玻璃基板表麵性能,增(zēng)加其與加工過程中使用的各種材料之間的親合力。

隨著液晶生產線對(duì)清洗工藝要求越來(lái)越高,工程師們提出了將高壓水(shuǐ)射流技術應用於玻璃基板清洗中的可能。在使用常壓水(shuǐ)噴淋清洗時,噴射到玻璃基(jī)板上的水(shuǐ)在其高表麵(miàn)張力的作用下,會在(zài)玻璃簡板表麵形成一(yī)層水膜。水膜和混合(hé)基板表麵上的微(wēi)細顆粒和其他汙(wū)垢,這反而會對汙垢起到保護作用,後續的水則很(hěn)難將這層水膜衝(chōng)破(pò),因此(cǐ)會使清洗效率降低。而高壓水射流技(jì)術是(shì)一種新型的(de)清洗技術,我們采用超高壓微細顆粒(lì)水噴射清(qīng)洗,將水形成大量的粒徑在幾微(wēi)米到幾十微米的微細液滴,並以極高的速度(dù)和密度連(lián)續地噴射衝擊被清洗物表麵。由於這種微細顆粒的水(shuǐ)滴不可(kě)能形成對(duì)汙垢(gòu)有保護作用的水膜,因此對(duì)基板上的各種汙垢特別是微(wēi)細顆粒汙垢(gòu)有很好的去除效果。
將高壓清洗機應用到玻璃基(jī)板的清洗工藝中,可通過將清洗液加壓到100~300bar的壓力,再通(tōng)過孔徑為0.5~1.5mm的(de)微孔噴射嘴噴出,形成高流速的微小液滴來清洗玻璃基板。實際應(yīng)用表(biǎo)明,高壓清洗機(jī)的應用提高了常壓噴淋清洗的洗淨力,縮短了清洗線的長度,並且節省了淨化空間和DI水的使用(yòng)量。
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