改良西門子法(fǎ)多晶矽還(hái)原爐鍾罩自動化清洗(xǐ)係統

    時(shí)間:2022-09-23 15:11:00作(zuò)者:LeeZhou來源:TXVLOG糖心短视频网站潔清潔設備分享(xiǎng)到:QQ空間新(xīn)浪(làng)微博騰訊微博人人網微信

    隨著信息(xī)化技術和太陽能光伏產(chǎn)業的迅速發展,多晶(jīng)矽作為集成(chéng)電路和太陽能光伏發電(diàn)的基礎原材料,在國內外市場的需求(qiú)量不斷增加,簡單來說,多晶矽可以用於製備單晶矽,其深加工產品廣(guǎng)泛用於半導體工業中,作為人工智能、自動控製、信息處理、光矽轉換等器件的基礎材(cái)料。同時,由於能源危機和環境保護的要求,全球(qiú)正積極開發利用可再生能源,大陽(yáng)能光伏發電(diàn)作為可再生資源之一(yī)備(bèi)受關注,突顯出著多晶矽在新能源中的(de)重要性;由於多晶矽產品需求的多樣(yàng)化(huà),對多晶矽純(chún)度的要(yào)求也大不相同,目前多晶矽可以分為太陽能級多晶矽(guī)(光伏發電)、電子級多晶矽(半導體集成電路)、區熔級多(duō)晶(jīng)矽(電(diàn)子級多晶矽的更高端產(chǎn)品)。

    改良西門子法被(bèi)公認(rèn)為是多晶矽提純可靠成熟的工藝技術(shù),同時也(yě)已被國內外絕大多數廠商采用,多晶矽還原爐作為改良西門子法生產多晶矽的核心設備,決定(dìng)了係統產能、能耗、環保指標以(yǐ)及可(kě)靠性、安全性的關鍵因素。還原爐在生產過程中,由於(yú)還原爐內反應溫度較高(gāo),每一(yī)輪沉積反應後,在還原爐鍾罩內壁粘附著一些雜(zá)質,根(gēn)據多晶矽生產原理及(jí)實際生產情況分析,鍾罩表麵(miàn)主要汙染物為無定形矽粉,其次為多(duō)晶矽顆粒物、氯矽烷水(shuǐ)解物及部分粉塵雜質,這些(xiē)雜質不僅影(yǐng)響多晶矽的品質,還使鍾罩內表麵的熱量反射(shè)減少,增加電耗,因此,為保障還原(yuán)爐(lú)鍾罩表麵的潔淨度,必須對(duì)還原爐鍾罩進行清洗及烘幹(gàn)作業。
     
    鍾罩內壁汙染

    以往,行業內(nèi)普遍采用的(de)方法是通過(guò)人工加化學藥劑的方(fāng)式對還原爐鍾罩進行清洗,清洗過程中,人工穿戴好防護服,手(shǒu)持高壓水槍噴射到內壁上對附著(zhe)物依次進行純(chún)水清洗和清洗(xǐ)液清洗,對部分(fèn)清洗不幹(gàn)淨的部位用酒(jiǔ)精擦拭,然後(hòu)用高溫壓縮空氣(qì)進(jìn)行烘幹。這種清洗(xǐ)方式,存在清洗效果(guǒ)不徹底、效率低下、浪費人力的缺陷。並且(qiě),還原鍾罩內會有各種有毒有害氣體溢出(chū)或殘留,給清理人員帶(dài)來健康和安全風險,清洗時,稍(shāo)有不慎化學清洗機容易濺到身上造成傷害。

    為解(jiě)決傳統人工清洗(xǐ)方式帶來的諸多危害,TXVLOG糖心短视频网站潔自主(zhǔ)研發並曆經四代改進升級還原爐(lú)鍾罩高壓(yā)水自動(dòng)化清洗係統,係統(tǒng)由低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉和升降執行機構、清洗工作(zuò)台、萬級淨化幹燥係統、循環過濾係統、控製裝置、微負(fù)壓係統、清洗工(gōng)作台、電氣控製係統等組成,能夠代替人工實現還原爐鍾罩的(de)全自動清洗和烘幹操(cāo)作。解決還原爐鍾(zhōng)罩(zhào)清理過程中存在的效率低(dī)、清理效果差、安全隱患等問題,實現自動化高效清理的效果。

    TXVLOG糖心短视频网站潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統是以高壓清洗機為主(zhǔ)機,以高壓水射流為(wéi)動(dòng)力的自驅(qū)動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高壓水(shuǐ)柱噴射表(biǎo)麵,從而完成鍾罩內部表麵的水力掃射(shè),並采用專用清洗劑等為主(zhǔ)要清洗液,先(xiān)用脫鹽水預清洗再依次用溶液、脫鹽水(shuǐ)漂洗,之(zhī)後再采用高純水衝洗,從而完成清洗過程,清洗工藝完成後(hòu),采用經過純淨空氣(萬級)烘幹(gàn)加熱,達到工(gōng)藝要求的(de)幹燥度。
     
    TXVLOG糖心短视频网站潔多晶矽還原爐鍾罩清(qīng)洗係統

    TXVLOG糖心短视频网站潔多晶矽還原爐鍾(zhōng)罩清洗係統自動化程度高,用(yòng)PLC+觸(chù)摸屏柔(róu)性自動控製係統,能實現對還原爐鍾(zhōng)罩的自動清洗和烘幹,清洗烘(hōng)幹時間(jiān)、溫度、清洗、漂洗等工藝(yì)參數可以根據(jù)需要自行調整設定,同(tóng)時具有半自動(dòng)或手動(dòng)功能,一次吊裝在一個工作台上完成全部(bù)清洗、烘幹過程,可實現遠(yuǎn)程對樓(lóu)下設備的控(kòng)製和主要參數(shù)監(jiān)控。

    全密閉式清(qīng)洗(xǐ)烘幹係統,有效(xiào)防止清洗時高(gāo)壓(yā)水(shuǐ)射(shè)流噴射出鍾罩外,使汙染物(廢(fèi)氣、廢水等)在受控的條件下(xià),按設計出口排放,有效避免(miǎn)人員安全隱患及(jí)環境汙染事故,係統核心部件均為原裝進口,采用歐洲標準,保證了(le)多晶矽鍾罩清洗係統性能的可靠(kào),可以在一(yī)套係統實(shí)現多種型號鍾罩的(de)清洗烘幹。

    為了滿足(zú)多晶矽日益(yì)激(jī)增的市場需求,保障(zhàng)多晶矽(guī)生產質(zhì)量,多晶矽企業除了在生(shēng)產能力和技術上(shàng)有所提升之外,對多(duō)晶矽生產設(shè)備的潔淨度也不可忽視,如何實現多晶矽還原爐鍾罩的高質量清洗,TXVLOG糖心短视频网站潔多晶矽還原爐鍾罩自動化係統一直(zhí)“靠實力說話”,憑借專業團隊(duì)、可靠硬件設備、合理工藝、自動化技術(shù)等多方麵結合,為(wéi)用戶提供一套安全、環保、高(gāo)效、高(gāo)質(zhì)量(liàng)的多晶矽還原爐鍾罩自動化清洗解決方案。目前,TXVLOG糖心短视频网站潔在(zài)多晶矽還原爐清洗行業已擁有國內90%的用戶,為多晶矽行業提供(gòng)了幾十套還原爐清(qīng)洗係統。

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