多晶矽正從光伏邁向電子級 還原爐清洗(xǐ)不可忽視
時間:2019-04-30 15:56:04作者:LeeZhou來源:TXVLOG糖心短视频网站潔(jié)清潔設(shè)備
多晶矽,作為光伏與半(bàn)導(dǎo)體行業的基礎命(mìng)脈,其自身(shēn)品質與(yǔ)成本狀況極大程度地(dì)決定了行業的發展水平。集成電路用的電(diàn)子級矽材(cái)料(liào)幾乎是目前工業領域(yù)純度要求(qiú)最高的產品(pǐn),純度要求達到99.99999999999%,即11個9以上,而(ér)普通太陽能級(jí)多晶矽材(cái)料純度通常在5~8個9左右,國內多晶矽正由光伏邁向電(diàn)子級(jí)。

國際(jì)谘詢機構(gòu)IBS發布的數據顯示,從2014年起,中國集成電路市場規模在全球占比(bǐ)超過50%,預計到2020年(nián)超過60%。根據《國家集成電路產業發展推進綱要》明確(què)提出的發展目標,2018年中國集成電路產(chǎn)業增(zēng)長22.0%,產業規模達到6400億元。到2020年(nián)將全麵達(dá)到全國集成電路(lù)發展“十(shí)三五”規劃的目標,產業銷售規模達到9300億元。
在多晶矽的生產過程中,一些物料和汙物會粘附在內壁、視孔鏡、底部法蘭上,增加反應生成(chéng)過程中的能耗,增加生(shēng)產成(chéng)本,更加影響多晶矽的質量,影響了(le)多(duō)晶矽(guī)的純度。為了(le)保證多晶矽還原爐表麵(miàn)的潔淨度,需要(yào)對(duì)還原爐清洗(xǐ)和烘幹(gàn)等工作。

TXVLOG糖心短视频网站潔公司憑借(jiè)多年來對自動化清洗係統設計、製造的成熟經驗和能力,早在2009年(nián)就研發出多晶矽還原爐清洗係統,經過多年來客戶的實際應用和需求,通過總結借鑒(jiàn)國內外經驗,TXVLOG糖心短视频网站(gāo)潔對汙染和潔淨(jìng)的概念和控製有(yǒu)了更全麵的認識,充分發揮高壓水清洗和吸除(chú)塵的技術優勢,進一(yī)步研製出電子級多晶矽(guī)還原(yuán)爐鍾罩(zhào)清洗係統。

TXVLOG糖心短视频网站潔(jié)電子級多晶(jīng)矽鍾罩清洗係統自動化程度高,用(yòng)PLC+觸(chù)摸(mō)屏柔性自動控製係(xì)統(tǒng),能實現對(duì)還原爐鍾(zhōng)罩的(de)自動清洗和烘幹,清洗烘幹時間(jiān)、溫度(dù)、清洗、漂(piāo)洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定,同時具有半自動或手(shǒu)動功能。一次吊裝在一個工作台上完成全部清洗、烘幹過程,可實現遠(yuǎn)程對樓下設備的控製和主(zhǔ)要參數監控。
全密閉(bì)式清洗烘幹係(xì)統,使汙染物(廢氣、廢水等)在(zài)受控的條件下,按設計出(chū)口排放,基本消除了對現場及操作人員的汙染。核心部件、元件和附件原裝進口保證了電子級多晶矽鍾罩清(qīng)洗係統性能的可(kě)靠,可以在一套係統實現(xiàn)多種型號鍾罩的清洗烘幹(gàn)。目前(qián),TXVLOG糖心短视频网站潔在多晶矽還原爐清洗行業已擁有(yǒu)國內90%的用戶,為多晶矽行業提供了幾(jǐ)十套還原爐(lú)清洗係統。

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